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消息称台积电已为明年生产下定13台EUV光刻机
2020-11-13 标签: 台积电  半导体  元件与制造 来源:快科技

台积电和三星均已投入5nm工艺的量产,前者代工的产品包括苹果A14、M1、华为麒麟9000等,后者则包括Exynos 1080以及传言中的骁龙875等。其实从7nm开始,台积电和三星就开始引入EUV光刻,但过程层数较少。



按照ASML(阿斯麦)的说法,迭代到5nm后,EUV的层数达到了14层,包括但不限于触点、过孔以及关键金属层等过程。未来的3nm、2nm,对EUV的依赖将更甚。


作为目前唯一能生产EUV光刻机的荷兰ASML来说,自然成了台积电和三星争抢的香饽饽,即便单台价格达到了1.2亿欧元(约合9.4亿元人民币)。


来自Digitimes的最新报道称,台积电为明年生产,已经向ASML下定了至少13台EUV光刻机。简单估算的话,花费的金额超120亿元人民币。


需要明白的是,EUV光刻机不是有钱就能买,因为ASML每年的产能非常有限,2019年全年才出货了26台,今年上半年出货了13台,截至三季度结束累计才出货23台。


另外,ASML定于明年中旬交付最新一代EUV光刻机TWINSCAN NXE:3600D,生产效率提升18%、机器匹配套准精度改进为1.1nm,不出意外的话,台积电应该是首批客户。




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